生產絕緣膜的涂料
本發明涉及一種生產絕緣膜的涂料組合物,一種使用該涂料組合物制備低電介絕緣膜的方法,由其得到的用于半導體器件的低電介絕緣膜和包括該絕緣膜的半導體器件,更具體地說,本發明涉及一種生產具有低電介常數絕緣膜而且能夠生產優異機械強度(彈性)絕緣膜的涂料組合物,使用該涂料組合物制備低電介絕緣膜的方法,由其得到的用于半導體器件的低電介絕緣膜,和包括該絕緣膜的半導體器件。本發明的涂料組合物包括小分子量的有機硅氧烷樹脂和水,可顯著改進絕緣膜的低介電性和機械強度。
本發明涉及一種生產絕緣膜的涂料組合物,一種使用該涂料組合物制備低電介絕緣膜的方法,由其得到的用于半導體器件的低電介絕緣膜和包括該絕緣膜的半導體器件,更具體地說,本發明涉及一種生產具有低電介常數絕緣膜而且能夠生產優異機械強度(彈性)絕緣膜的涂料組合物,使用該涂料組合物制備低電介絕緣膜的方法,由其得到的用于半導體器件的低電介絕緣膜,和包括該絕緣膜的半導體器件。本發明的涂料組合物包括小分子量的有機硅氧烷樹脂和水,可顯著改進絕緣膜的低介電性和機械強度。
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