光觸媒體的制造方法和制造裝置
本發明的光觸媒體是具有由鈦和氧的化合物組成的光觸媒膜的光觸媒體，上述光觸媒膜呈多孔狀，其表面的算術平均光潔度Ra與其厚度的比值大于等于O．02。而且，利用氧化鈦的銳鈦礦結構的x線衍射峰之間的強度比可以特定該光觸媒體。這種多孔狀光觸媒體材料是采用反應性濺射，通過適當調節成膜速度、濺射壓力、基板溫度、氧分壓等成膜參數而得到，具有良好的分解親水特性。
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